【摘 要】
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为满足现代短波光学、强光光学、电子学及薄膜科学对元件提出的超光滑表面的需求,解决小曲率半径非球面和自由曲面器件的超光滑表面加工困难,本文综合考虑了工件表面原子的微
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001
【出 处】
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第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会
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为满足现代短波光学、强光光学、电子学及薄膜科学对元件提出的超光滑表面的需求,解决小曲率半径非球面和自由曲面器件的超光滑表面加工困难,本文综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能、高吸附特性,提出一种可实现工件表面单原子层子去除的纳米胶体射流抛光方法。利用纳米颗粒与工件表面在碱性环境下的碰撞反应,设计并制造了可以实现超精密表面的纳米胶体射流抛光系统。利用此系统对K9玻璃进行抛光,试验结果表明在合适的纳米颗粒直径、射流速度及胶体粘度参数下,可以实现超精密光学表面的抛光,表面粗糙度小于1nm Rms。
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