【摘 要】
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本文以有机低分子化合物和氢气为反应气体,用热解 CVD 法生长出金刚石多晶薄膜。用喇曼散射、X 射线衍射、反射高能电子衍射和电子显微镜等方法进行了结构表征。论述了碳源浓
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学,上海交通大学,上海交通大学,上海交通大学
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本文以有机低分子化合物和氢气为反应气体,用热解 CVD 法生长出金刚石多晶薄膜。用喇曼散射、X 射线衍射、反射高能电子衍射和电子显微镜等方法进行了结构表征。论述了碳源浓度、热丝温度、基片温度和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响。
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