我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈投产

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4月14日,由沈阳拓荆科技有限公司(以下简称“拓荆科技”)建设的我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈阳市浑南区落成投产。该基地一期可容纳1000人规模的研发制造团队,年产能可达100台(套),实现产值15亿元。全部达产后,年产能可达350台(套)。
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