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针对光纤法珀(Fabry.Perot,FP)超声波传感器振动特性,将传感器薄板振动简化为具有集中参数的二阶振动,推导二阶振动方程的集中参数(力阻抗、等效质量、弹性系数、集中力),获得传感器共振频率、振幅灵敏度与结构参数设计关系。测试直径2.52mm、厚度150μm玻璃振动薄板在空气、水中的共振频率分别为205kHz及115kHz,水介质中共振频率振幅灵敏度约18μm/Pa。制作的传感器可测试局放产生超声波的最小声压约1Pa。