【摘 要】
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微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星导航以及医疗等方面。复合腔片作为耦合腔行波管中的重要件,其制备工艺质量决定了整管能否稳定可靠工作。本文研究了耦合腔行波管复合
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微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星导航以及医疗等方面。复合腔片作为耦合腔行波管中的重要件,其制备工艺质量决定了整管能否稳定可靠工作。本文研究了耦合腔行波管复合腔片真空扩散焊制备工艺,采用该工艺,复合腔片无明显变形,满足二次精加工尺寸精度;并采用扫描电镜结合能量色散谱分析发现,扩散界面平直、没有＂死空间＂等缺陷;抗拉强度达到210 MPa以上;漏气率小于10-11 Pa·m^3/s;解决了焊料蒸发以及零件内壁和内壁气体迁移到管内,而降低管内真空度问题,提升了器件寿命。
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