用于光纤通信系统的GaAlAs液相外延

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为制备光耦合器件及其它用途的高亮度发光管红外光源。研究了五舱滑动舟降温法外延生长。摘要如下: 采用(100)晶向,掺Si浓度为1—3×10~(18)cm~(-3)水平单晶为衬底,生长出具有四层结构的外延片,并制成具有相当功率的发光管。通过调整饱和度,氢流量控制,改进脱氧工艺,改善操作条件,控制微量氧,提高系统气密性等因素,获得了晶体完整性较好,厚度比较均匀的外延片。 For the preparation of optical coupling devices and other uses of high-brightness LED infrared light source. The five-compartment sliding boat was studied for epitaxial growth. Abstract: The epitaxial wafer with four-layer structure was grown by using (100) crystal orientation and single-crystal doped with Si concentration of 1-3 × 10 ~ (18) cm ~ (-3) Very power LED. By adjusting the saturation, hydrogen flow control, improving the deoxidation process, improving the operating conditions, controlling trace oxygen, and improving the airtightness of the system, the epitaxial wafers with better crystal integrity and more uniform thickness were obtained.
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