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单晶硅棒在线检测环形输送机设计与分析
单晶硅棒在线检测环形输送机设计与分析
来源 :中国机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jhuihui
【摘 要】
:
针对单晶硅棒在检测的工艺过程特点,设计了一种用于实现单晶硅棒在线检测的环形输送机,并介绍了其技术方案和设备结构。
【作 者】
:
王小飞
【机 构】
:
河北汇金机电股份有限公司
【出 处】
:
中国机械
【发表日期】
:
2019年17期
【关键词】
:
单晶硅棒
在线检测
环形输送机
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针对单晶硅棒在检测的工艺过程特点,设计了一种用于实现单晶硅棒在线检测的环形输送机,并介绍了其技术方案和设备结构。
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