Effect of oxygen partial pressure and transparent substrates on the structural and optical propertie

来源 :矿物冶金与材料学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：anglelc

【摘要】

：

Zinc oxide (ZnO) thin films were deposited onto different substrates - tin-doped indium oxide (ITO)/glass, ITO/polyethylene naphthalate (PEN), ITO/polyethylene

【作者】

：

Yan-ping Xia Pei-hong Wang Shi

【机构】

：

SchoolofPhysics&,MaterialsScience,SchoolofElectronic&,InformationEngineering

【出处】

：

矿物冶金与材料学报：英文版

【发表日期】

：

2017年6期

【关键词】

：

zinc oxide THIN films RF SPUTTERING gas flow ratio PIEZOELECTRICITY energy HARVE

【基金项目】

：

supported by the National Natural Science Foundation of China (61671017),,Anhui Provincial Natural Science Foundation (1508085ME72),,the Provincial Natural Science Foundation of Anhui Higher Education

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Zinc oxide (ZnO) thin films were deposited onto different substrates - tin-doped indium oxide (ITO)/glass, ITO/polyethylene naphthalate (PEN), ITO/polyethylene terephthalate (PET) - by the radio-frequency (RF) magnetron sputtering method. The effect of va

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