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本文针对Cz法晶体生长特点,通过采用数值模拟的方法,对Cz法生长砷化镓单晶时从引晶、放肩、等径至收尾这一完整工艺过程中晶体的温度场、熔体的温度场和速度场进行了计算,从中分析籽晶和坩埚的转向、转速等因素对流动和传热的影响,并与实际的生长砷化镓单晶过程进行比较.从比较结果看,二者基本吻合。
Cz法晶体生长中的流动与传热研究
【摘 要】
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本文针对Cz法晶体生长特点,通过采用数值模拟的方法,对Cz法生长砷化镓单晶时从引晶、放肩、等径至收尾这一完整工艺过程中晶体的温度场、熔体的温度场和速度场进行了计算,从
【机 构】
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北京科技大学,北京科技大学
【出 处】
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冶金能源
【发表日期】
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1992年3期
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