【摘 要】
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钨的化学物理特性使钨制品成为某些工业产品中不可缺少的零件。化学气相沉积是获得价廉质好的钨制品的一种工艺方法。本文概述了这种方法所用的设备、原材料;并对该方法的各
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钨的化学物理特性使钨制品成为某些工业产品中不可缺少的零件。化学气相沉积是获得价廉质好的钨制品的一种工艺方法。本文概述了这种方法所用的设备、原材料;并对该方法的各项工艺参数和生产率的关系作了分析;还对棒材、毛细管、管材等钨制品的化学气相沉积过程作了叙述。
The chemical and physical properties of tungsten make tungsten products an indispensable part of certain industrial products. Chemical vapor deposition is a process of obtaining inexpensive and good tungsten products. This article provides an overview of the equipment and raw materials used in this method. The relationship between the process parameters and the productivity is also analyzed. Chemical vapor deposition of tungsten products such as rods, capillaries and tubing is also described.
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In non-ferrou
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