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从MEMS应用的角度介绍了PZT压电薄膜的制备、集成工艺与压电系数的测量 ,并给出了压电薄膜在MEMS中的应用实例
PZT压电薄膜在ME MS中的应用
【摘 要】
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从MEMS应用的角度介绍了PZT压电薄膜的制备、集成工艺与压电系数的测量 ,并给出了压电薄膜在MEMS中的应用实例
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年04期
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