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先进ATHENA^TM选用策略与对准功能
先进ATHENA^TM选用策略与对准功能
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qnmdmm
【摘 要】
:
基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要.不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影响.介绍两个主要科技研发项目:先进对准配套
【作 者】
:
程天风
Jeroen
Huijbregtse
Richard
【机 构】
:
阿斯麦光刻设备公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2004年2期
【关键词】
:
对准系统
多组光栅标
化学机械抛光
晶圆对位
Alignment system
VSPM
CMP
Wafer alignment
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基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要.不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影响.介绍两个主要科技研发项目:先进对准配套和对准标的设计.
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