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微细加工技术现状
微细加工技术现状
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:h762106005
【摘 要】
:
介绍当前微加工技术现状。主要介绍曝光技术和干蚀技术的现状和发展。
【作 者】
:
贾正根
【机 构】
:
南京电子器件研究所
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
微细加工
曝光
干蚀
掩膜
Micro processingExposure technologyDry corrosionMask
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介绍当前微加工技术现状。主要介绍曝光技术和干蚀技术的现状和发展。
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