【摘 要】
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采用溶胶一凝胶法在Pt（111）／Ti／SiO2／Si（100）基底上制备了多晶Ca（Zn1/3Nb2，3）O3／CaTiO3（CZN／CT）异质叠层薄膜。XRD分析表明，CZN／CT薄膜的结晶度随退火温度的升高而增大，CZN和CT相均在700℃时出
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采用溶胶一凝胶法在Pt（111）／Ti／SiO2／Si（100）基底上制备了多晶Ca（Zn1/3Nb2，3）O3／CaTiO3（CZN／CT）异质叠层薄膜。XRD分析表明，CZN／CT薄膜的结晶度随退火温度的升高而增大，CZN和CT相均在700℃时出现钙钛矿晶型，且CZN相的特征峰相对于CT相偏左微移。微观结构分析显示，薄膜于700℃快速退火2min并保温30min后晶粒尺寸为30-50nm，表面相当光滑，原子力显微镜分析显示其粗糙度（RMS）值仅为4．9nm，此时，薄膜的介电常数和介电损耗分别为30和0
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