真空规的校准

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本评论包括那些被应用于真空。校准的各种不同技术,涉及到两种校准方法:一是与绝对规作比较,一是依靠产生已知低压强的基准进行校准。对连续膨胀法和小孔泻流法两者中的系统不确定度的各种来源作了研究并使其定量化。比较了一些校准系统的性能。本评论的一部分也包括了真空计量学中应用定点法、参考规(即付标准规-译注)以及实验室之间标准互校的可能性。 This review includes those applied to the vacuum. The different techniques of calibration involve two methods of calibration: one is to compare with absolute rule, and the other is to calibrate by a reference that produces a known low pressure. Various sources of system uncertainty in both continuous expansion and small-hole effusion methods were studied and quantified. Compare the performance of some calibration systems. Part of this review also includes the possibility of using the fixed-point method, the reference method, and the standard mutual calibration between laboratories in vacuum metrology.
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