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期刊论文
中子辐照对硅片表面氧化层错的抑制作用
中子辐照对硅片表面氧化层错的抑制作用
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lhq0929
【摘 要】
:
对硅片表面氧化层错形成机理进行了探讨。并通过中子辐照在直接硅中引入缺陷,利用辐照缺陷和硅中氧的相互作用,强烈抑制硅片表面氧化层错的产生。
【作 者】
:
李养贤
鞠玉林
【机 构】
:
河北工学院材料研究中心
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
表面氧化层错
中子辐照
硅片
抑制
Surface Oxide Fault
Neutron Irradiation
【基金项目】
:
天津市21世纪青年自然科学基金,高纯硅国家重点实验室基金
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对硅片表面氧化层错形成机理进行了探讨。并通过中子辐照在直接硅中引入缺陷,利用辐照缺陷和硅中氧的相互作用,强烈抑制硅片表面氧化层错的产生。
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