【摘 要】
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本文介绍了一种考虑同轴结构内电场非对称性以及二次电子能量分布的微放电统计理论。首先采用微扰法得到电子不同的出射位置与碰撞类型的运动轨迹,再根据电子不同的运动轨迹,
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室
【基金项目】
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空间微波技术重点实验室基金项目(9140C530103110C5301)
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本文介绍了一种考虑同轴结构内电场非对称性以及二次电子能量分布的微放电统计理论。首先采用微扰法得到电子不同的出射位置与碰撞类型的运动轨迹,再根据电子不同的运动轨迹,分别构建了电子从内、外极板出射后完成单、双边碰撞的关于出射时刻与渡越时间的联合概率密度函数,然后通过电子出射时刻的稳态假设,构建稳态积分方程。最后根据实验Ag样件的二次电子发射率曲线,计算该样件的微放电敏感区域,并将实验频点下的统计理论预测值与实验测量的阈值进行比较。
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