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CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统
CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统
来源 :机电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woxia012
【摘 要】
:
介绍了CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理。
【作 者】
:
刘曙光
李润源
【机 构】
:
西北纺织工学院,西安理工大学
【出 处】
:
机电工程
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
单晶等径生长
CZ单晶炉
计算机控制系统
Single crystal
Growth
Control
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介绍了CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理。
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