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介绍了超精密加工技术概要,对超精密加工以及纳米加工的支撑环境进行了归纳,并分别阐述了支撑环境中温度、湿度、洁净度及振动几个环境因素,最后给出了保证其支撑环境的一般性措施.
对超精密加工及纳米加工环境的分析
【摘 要】
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介绍了超精密加工技术概要,对超精密加工以及纳米加工的支撑环境进行了归纳,并分别阐述了支撑环境中温度、湿度、洁净度及振动几个环境因素,最后给出了保证其支撑环境的一般
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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组合机床与自动化加工技术
【发表日期】
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2003年10期
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