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介绍了一种基于高准确度电感传感器和红宝石测头,在测长机上实现深微孔径测量的方法,解决了内径的Φ1mm～Φ5mm、深度在40mm以下的深微孔内径的测量问题。通过对深微孔径测量装置测量不确定度的分析,在95%置信概率下,装置的测量不确定度为0.6μm,满足测量要求。
深微孔内径测量技术研究
【摘 要】
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介绍了一种基于高准确度电感传感器和红宝石测头,在测长机上实现深微孔径测量的方法,解决了内径的Φ1mm～Φ5mm、深度在40mm以下的深微孔内径的测量问题。通过对深微孔径测量装
【机 构】
：
北京航天计量测试技术研究所
【出 处】
：
宇航计测技术
【发表日期】
：
2012年4期
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