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针对目前严峻的芯片热控制问题，介绍了在芯片封装中的一种真空镀膜微热管组的制造方法和灌装设备．
芯片封装中真空镀膜微热管组的制造方法
【摘 要】
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针对目前严峻的芯片热控制问题，介绍了在芯片封装中的一种真空镀膜微热管组的制造方法和灌装设备．
【机 构】
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邵阳学院机械与能源工程系湖南邵阳422004,华南理工大学机械工程学院
【出 处】
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邵阳学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年3期
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