【摘 要】
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硬脆材料微加工中常存在材料易崩裂、刀具磨损严重、加工效率低等不足,引入超短脉冲激光微加工技术,通过光-热-力效应引发材料去除,可有效克服上述加工难题。以羟基磷灰石生
【机 构】
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江苏大学机械工程学院激光技术研究所
【基金项目】
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江苏省自然科学基金-青年基金项目(BK20180875);国家自然科学基金面上项目(51675242);中国博士后科学基金特别资助项目(2019T120392);中国博士后科学基金面上项目(2018M640461);江苏大学高级人才科研启动金资助项目(18JDG011)
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硬脆材料微加工中常存在材料易崩裂、刀具磨损严重、加工效率低等不足,引入超短脉冲激光微加工技术,通过光-热-力效应引发材料去除,可有效克服上述加工难题。以羟基磷灰石生物陶瓷、氧化铝工程陶瓷、单晶硅三种典型硬脆材料为加工对象,探索基于皮秒激光的微加工工艺方法,尝试利用激光干切、液体辅助、化学辅助等不同手段,完成微槽、微孔等结构的高质量加工,并分析微加工表面特征形貌,评估工艺方法可行性。
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