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为了快速、准确地评估整体式连续自动物料搬运系统的在制品量,引入排队理论中的相关知识构建了数学性能分析模型。在考虑捷径布置与转向装置服务时间变动性的基础上,采用合适的排队模型构建针对Inter-bay的性能分析模型。在考虑加工设备有限缓存容量、损失晶舟循环反馈的情况下,应用M/M/1/K模型及其反馈特性构建Intrabay的性能分析模型。以24个Intrabay的300mm晶圆制造系统为例来验证分析模型。通过与A-rena软件仿真结果对比分析,证明了数学分析模型在评估系统在制品、设备利用率等相关性能方