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本文在不同工艺条件下进行多弧离子镀ＴｉＮ涂层。利用扫描电镜、Ｘ射线衍射仪、Ｍ－２００磨损试验机以及显微硬度计等，对ＴｉＮ涂层的表面形貌、组织结构和性能进行了分析，揭示了弧靶磁场氮分压等工艺对ＴｉＮ涂层组织结构性能的综合影响。
TiN涂层的工艺分析
【摘 要】
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本文在不同工艺条件下进行多弧离子镀ＴｉＮ涂层。利用扫描电镜、Ｘ射线衍射仪、Ｍ－２００磨损试验机以及显微硬度计等，对ＴｉＮ涂层的表面形貌、组织结构和性能进行了分析，揭示了弧靶磁场氮分压等工艺
【机 构】
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南昌航空工业学院
【出 处】
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南昌大学学报：工科版
【发表日期】
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1994年3期
【基金项目】
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江西省自然科学基金
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