论文部分内容阅读
根据金属有机物化学气相沉积（MOCVD）在线红外测温的发展需要，提出一种3波长免探测孔有效面积校准和反射率修正的测温方法。给出了探测1300nm、1150nm、940nm3波长的在线测温探头设计方案和光路图，将该探头应用于THOMASSwANCCSMOCVD5．08cm（2英寸）Si（111）衬底上生长10肚mGaN外延层的在线测温。测量结果表明：在700℃～1100℃范围内，探头多次测量的重复性误差在1．0℃内，在950℃～1100℃范围内，以EpiTT红外测温仪为参考，探头测温精度在1℃内，距离容差性