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根据微细加工设备的维修实践，论述了微细加工设备维修工程管理的主要内容阐述了维修工程的主要度量指标及柏拉图在维修工程中的应用；提出了故障模式，故障分析方法及维修工程三维绩效图。
微细加工设备维修工程研究
【摘 要】
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根据微细加工设备的维修实践，论述了微细加工设备维修工程管理的主要内容阐述了维修工程的主要度量指标及柏拉图在维修工程中的应用；提出了故障模式，故障分析方法及维修工程三维
【机 构】
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深圳科鹏微电子公司
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年4期
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