【摘 要】
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理论上计算了入射距离747.4 mm及不同入射角情况下,日立变栅距凹面光栅的平场范围,确定了平场范围在30～50nm的一组平场谱仪的新设计参数.在原入射距离的情况下,新研制的平场谱
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理论上计算了入射距离747.4 mm及不同入射角情况下,日立变栅距凹面光栅的平场范围,确定了平场范围在30～50nm的一组平场谱仪的新设计参数.在原入射距离的情况下,新研制的平场谱仪在入射狭缝前加了一个轮胎镜,使谱仪具有空间分辨能力,且提高了收集效率,.利用一种真空紫外光谱灯对He气放电的特征谱线对平场谱仪进行了标定.在入射狭缝为 0.1mm时,实验上测得30.38nm谱线的宽度约为0.04mm, 在30nm附近的分辨率为0.001,在消像散波长40nm附近,分辨率将优于0.001.最后,利用标定后的平场
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