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响应三甲胺气体低阻TiO2基气体传感器研制
响应三甲胺气体低阻TiO2基气体传感器研制
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ganmaogaishilangren
【摘 要】
:
二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高.文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一
【作 者】
:
孙海波
王强
裴素华
孙振翠
【机 构】
:
山东师范大学半导体研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2003年12期
【关键词】
:
二氧化钛
热退火
掺杂
三甲胺
TIO2
气体传感器
Titanium
annealing
doping
trimethylamine
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二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高.文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一种新型低阻敏感元件,对三甲胺灵敏度高、选择性好.
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