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利用磁约束直流等离子体炬设备的和Ａｒ＋Ｈ２＋ＣＨ４混合气体，在喷出的电弧侧面的无水冷的ＡｌＮ（氮化铝陶瓷）衬底上，成功的制备出金刚石薄膜，使用扫描电子显微镜，Ｘ射线衍射仪和Ｒｍａｎ光谱研究了金刚石薄膜形貌，生长速率及质量。
电弧侧面金刚石薄膜的沉积
【摘 要】
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利用磁约束直流等离子体炬设备的和Ａｒ＋Ｈ２＋ＣＨ４混合气体，在喷出的电弧侧面的无水冷的ＡｌＮ（氮化铝陶瓷）衬底上，成功的制备出金刚石薄膜，使用扫描电子显微镜，Ｘ射线衍射仪和Ｒｍａｎ光谱研究了金刚石薄膜形貌，生
【机 构】
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山东大学物理系,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1998年4期
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