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今天,应用材料公司宣布推出全新的Ap-plied Centura Avatar刻蚀系统。该系统主要针对高深宽比刻蚀应用,如制造新兴的三维NAND存储结构。
应用材料公司宣布推出全新Centura？AvatarTM刻蚀系统
【摘 要】
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今天,应用材料公司宣布推出全新的Ap-plied Centura Avatar刻蚀系统。该系统主要针对高深宽比刻蚀应用,如制造新兴的三维NAND存储结构。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年7期
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