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基于初次电流分布的电解微刻蚀均匀性研究
基于初次电流分布的电解微刻蚀均匀性研究
来源 :电加工与模具 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cf1987821
【摘 要】
:
在电解刻蚀中,阳极表面的电流密度由装置的几何尺寸、加工参数、极化情况等决定,其中,几何要素决定加工间隙的初次电流密度分布,主要影响刻蚀结果。采用有限单元法数值模拟不同尺
【作 者】
:
韦鸿钰
郭钟宁
王冠
【机 构】
:
仲恺农业工程学院机电工程学院,广东工业大学机电工程学院
【出 处】
:
电加工与模具
【发表日期】
:
2014年3期
【关键词】
:
电解微刻蚀
电流密度
均匀性
electrochemical micro-etching
current density
uniformity
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在电解刻蚀中,阳极表面的电流密度由装置的几何尺寸、加工参数、极化情况等决定,其中,几何要素决定加工间隙的初次电流密度分布,主要影响刻蚀结果。采用有限单元法数值模拟不同尺寸阴极、辅助电极、加工间隙等对加工区域初次电流分布的影响.确定了均匀性随各几何因素的变化趋势。
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