陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响

来源 :第十三届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:l1121785530
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  本文通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.
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