【摘 要】
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用磁控溅射法制备了一系列Co2FeAl合金薄膜,并进行了退火处理。利用振动样品磁强计（VSM）和X射线衍射（XRD）对样品进行表征,研究了溅射功率和退火温度对Co2FeAl薄膜磁与结构特性的
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61505058;61404054);华侨大学中青年教师科研提升资助计划项目(ZQN-YX107)
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用磁控溅射法制备了一系列Co2FeAl合金薄膜,并进行了退火处理。利用振动样品磁强计（VSM）和X射线衍射（XRD）对样品进行表征,研究了溅射功率和退火温度对Co2FeAl薄膜磁与结构特性的影响。高功率下制备的沉积态薄膜就具有强磁性,同时也具有单轴磁各向异性;而对应的低功率下制备的沉积态薄膜则呈现出弱磁性。300℃退火后出现单轴磁各向异性;700℃退火后,所有薄膜均表现为磁各向同性。随着退火温度的升高,薄膜的矫顽力变大。X射线衍射分析表明,随着热处理温度升高,薄膜的晶粒尺寸增大,从而导致晶粒间磁耦合作用增强,这与薄膜的磁特性结果相一致。
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