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研制了利用直线法设计的基于GaAs衬底上的Mach—Zehnder行波光调制器.波导层使用了场诱折射率改变量较大的非对称多量子阱结构,采用脊型波导,并湿法刻蚀出台面以消除波导区以外的载流子引起的损耗。调制器电极微波特性测试结果表明频率响应在2.5~20GHz没有明显的起伏,但在低频段响应下降很快,另外微波损耗较大,讨论了其原因和改进方法。