【摘 要】
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本文阐述了６３５．６１６ＭＨｚ窄带ＳＡＷＦ设计特点，并着重对其叉指电极制作中的光刻、刻蚀及膜厚测量等工艺进行了探讨。该ＳＡＷＦ插入损耗小于１５．５ｄＢ，Ｑ值高于６０Ｏ
This paper describes the design of 635.616MHz narrow
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本文阐述了６３５．６１６ＭＨｚ窄带ＳＡＷＦ设计特点，并着重对其叉指电极制作中的光刻、刻蚀及膜厚测量等工艺进行了探讨。该ＳＡＷＦ插入损耗小于１５．５ｄＢ，Ｑ值高于６０Ｏ
This paper describes the design of 635.616MHz narrow-band SAWF and focuses on lithography, etching and film thickness measurement in interdigital electrode fabrication. The SAWF insertion loss is less than 15.5dB, Q value is higher than 60O
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