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期刊论文
直拉单晶硅配料工艺探讨
直拉单晶硅配料工艺探讨
来源 :太阳能 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lixiaojin1987
【摘 要】
:
一引言单晶硅的主要参数有型号、电阻率、少子寿命、位错密度、晶向、碳氧含量等。它们对单晶硅棒的品质有决定性的作用,并且影响着单晶硅后续工艺电池片的处理工艺。电阻率是
【作 者】
:
谢于柳
朱立豪
李卫宁
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十八研究所,江苏聚能硅业有限公司,江苏腾大光电有限公司
【出 处】
:
太阳能
【发表日期】
:
2010年5期
【关键词】
:
直拉单晶硅
工艺探讨
配料
电阻率
少子寿命
位错密度
后续工艺
氧含量
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一引言单晶硅的主要参数有型号、电阻率、少子寿命、位错密度、晶向、碳氧含量等。它们对单晶硅棒的品质有决定性的作用,并且影响着单晶硅后续工艺电池片的处理工艺。电阻率是其中最为复杂的一个参数,它跟工艺有着密切关系。本文主要探讨单晶硅电阻率这一参数。由于相同的原料经过不同的配比,
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