直拉单晶硅配料工艺探讨

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一引言单晶硅的主要参数有型号、电阻率、少子寿命、位错密度、晶向、碳氧含量等。它们对单晶硅棒的品质有决定性的作用,并且影响着单晶硅后续工艺电池片的处理工艺。电阻率是其中最为复杂的一个参数,它跟工艺有着密切关系。本文主要探讨单晶硅电阻率这一参数。由于相同的原料经过不同的配比,
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