单折叠腔轴快流CO2激光器双折反镜结构方案设计

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以NEL-2000轴快流CO_2激光器为例,从谐振腔的设计、部件加工、部件及整体装配等几方面出发,研究造成谐振腔折叠偏差的可能原因:并运用几何光学原理,分析了单折腔轴快流CO_2激光器的双折反镜结构,分别提出了两块折反镜必须且应该具备的调节功能,给出了一种全可调折反镜与半可调折反镜相组合的折反镜结构设计方案。试验结果表明,在一定的机械加工精度误差和装配误差范围内,该方案可以消除由于部件的机械加工和装配而产生的误差。 Taking the NEL-2000 fast-flowing CO_2 laser as an example, the possible causes for the resonance of the resonator are studied from the aspects of resonator design, component processing, components and overall assembly. The geometrical optics principle is used to analyze the single-folded The birefringent mirror structure of the CO_2 laser with fast axis of the cavity axis respectively proposed the necessary and necessary adjustment functions of the two folding mirrors and provided a combination of a fully adjustable and an adjustable half mirror Fold mirror structure design. The experimental results show that the solution can eliminate the errors caused by the machining and assembly of components within a certain range of machining accuracy and assembly error.
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