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采用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上制备了TiO2薄膜,靶材为纯度99.9%的钛肥,溅射时基片不加热。XRD结果显示,所得TiO2薄膜的晶型为锐钛矿相;SEM结果显示,随着热处理温度的增加TiO2薄膜晶粒尺寸增大;光催化性能显示,经过500℃热处理1小时后的TiO2薄膜具有较好的光催化效率。