,Fabrication and Performance of Micro-sensors for Methane Detection Based on In-Pd-Co-SnO2 Composite

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In-Pd-Co-SnO2 composite nanofibers have been synthesized by an electrospinning method and characterized by xray diffraction (XRD),scanning electron microscopy (SEM),and transmission electron microscopy (TEM).Microsensors with a tiny area of 1 × 1 mm2 are fabricated by spinning the nanofibers on sensor substrates.Excellent CH4 sensing properties are found based on the micro-sensors.The sensitivity is up to 13 when the sensors are exposed to 10ppm CH4 at 140℃,and the response and recovery times are about 8 and 14s,respectively.High selectivity,good stability,and low power-consumption are also observed in the investigation.
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