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采用碱析沸腾法制备AZO粉体，纯度达到了99．88％以上；真空热压成型烧结获得A—ZO靶材，相对密度都达到了理论密度的98％以上；磁控溅射方法制备ZAO薄膜，电阻率、载流子浓度、迁移率等电学性能优良，可见光透过率在85％以上，微观结构致密、均匀，晶体结构为（002）择优取向的纤锌矿ZnO结构。
TCO玻璃用AZO靶材的研究
【摘 要】
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采用碱析沸腾法制备AZO粉体，纯度达到了99．88％以上；真空热压成型烧结获得A—ZO靶材，相对密度都达到了理论密度的98％以上；磁控溅射方法制备ZAO薄膜，电阻率、载流子浓度、迁移率等电学
【机 构】
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蚌埠玻璃工业设计研究院,河北巨邦质检技术服务有限公司
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2014年6期
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