论文部分内容阅读
采用碱析沸腾法制备AZO粉体,纯度达到了99.88%以上;真空热压成型烧结获得A—ZO靶材,相对密度都达到了理论密度的98%以上;磁控溅射方法制备ZAO薄膜,电阻率、载流子浓度、迁移率等电学性能优良,可见光透过率在85%以上,微观结构致密、均匀,晶体结构为(002)择优取向的纤锌矿ZnO结构。