感应耦合等离子体刻蚀p-GaN的表面特性

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：meteora5

【摘要】

：

研究了p-GaN材料经感应耦合等离子体(ICP)刻蚀后的表面特性,并用不同的方法对刻蚀表面进行处理.利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)对刻蚀样品进行分析,并在样品表

【作者】

：

吕玲龚欣郝跃

【机构】

：

西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室; 西安电子科技大学微电子学院; 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室; 西安710071;

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

GaN 感应耦合等离子刻蚀表面处理欧姆接触

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:51327020301)资助的课题.~~

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研究了p-GaN材料经感应耦合等离子体(ICP)刻蚀后的表面特性,并用不同的方法对刻蚀表面进行处理.利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)对刻蚀样品进行分析,并在样品表面制作Ni/Au电极,进行欧姆接触特性的测试.实验结果表明了NaOH溶液处理表面对改善材料表面和欧姆接触特性是比较有效的.

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