【摘 要】
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用射频溅射法制备了（Fe88Zr7B5）0.97Cu0.03软磁合金薄膜，研究了不同磁场退火方式对薄膜磁导率和巨磁阻抗（GMI）效应的影响。姑果表明，纵向和横向磁场退火都能有效地提高薄膜样品的巨
【基金项目】
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浙江省教育厅资助项目（20050050）
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用射频溅射法制备了（Fe88Zr7B5）0.97Cu0.03软磁合金薄膜，研究了不同磁场退火方式对薄膜磁导率和巨磁阻抗（GMI）效应的影响。姑果表明，纵向和横向磁场退火都能有效地提高薄膜样品的巨磁阻抗效应，在13MHz频率下纵向最大GMI比分别为18．6％和17％；纵向磁场退火后薄膜样品的横向磁各向异性消失，横向磁场退火则能有效增强横向磁各向异性，提高巨磁阻抗效应的磁场响应灵敏度；磁场诱导的磁导率变化是巨磁阻抗效应变化的主要原因。
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