优化电缆连接技术改善晶圆测量结果

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本文分析了直流、多频电容、超快Ⅰ-Ⅴ和脉冲测试以及正确接地和屏蔽的重要性,为特定测量选择正确的互连方式,并排除常见的互连故障。
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