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优化电缆连接技术改善晶圆测量结果
优化电缆连接技术改善晶圆测量结果
来源 :中国电子商情:基础电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jacky1228
【摘 要】
:
本文分析了直流、多频电容、超快Ⅰ-Ⅴ和脉冲测试以及正确接地和屏蔽的重要性,为特定测量选择正确的互连方式,并排除常见的互连故障。
【作 者】
:
Dave Rose
【机 构】
:
吉时利仪器公司
【出 处】
:
中国电子商情:基础电子
【发表日期】
:
2011年4期
【关键词】
:
技术改善
测量
晶圆
连接
电缆
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本文分析了直流、多频电容、超快Ⅰ-Ⅴ和脉冲测试以及正确接地和屏蔽的重要性,为特定测量选择正确的互连方式,并排除常见的互连故障。
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