【摘 要】
：
玻璃浆料是一种常用于MEMS器件封装的密封材料。系统研究了MEMS器件在低温下使用玻璃浆料键合硅和玻璃的过程。与大多数MEMS器件采用的玻璃浆料相比（烧结温度400℃以上）,此工艺
【机 构】
：
苏州大学电子信息学院,晶方半导体科技（苏州）有限公司
论文部分内容阅读
玻璃浆料是一种常用于MEMS器件封装的密封材料。系统研究了MEMS器件在低温下使用玻璃浆料键合硅和玻璃的过程。与大多数MEMS器件采用的玻璃浆料相比（烧结温度400℃以上）,此工艺（烧结温度350℃）在键合完成后所形成的封装结构同样具有较高的剪切强度（封装器件剪切强度大于360 kPa）,同时具有较好的气密性（合格率达到93.3%）,漏率测试结果符合相关标准。结果表明,在保证MEMS器件封装剪切强度和气密性的同时,降低键合温度条件是可以实现的。
其他文献
焦虑症和抑郁症患者都不同程度存在睡眠障碍[1],睡眠脑电图特征分析发现二者既有相同之处,也各有其独特之处[2],但两种疾病患者在睡眠障碍的主观感受上是否存在差异,尚未见报
近日,受中国纺织工业联合会委托,中国纺织机械协会在浙江桐乡召开了由北自所(北京)科技发展有限公司承担的“化纤长丝制造智能物流全流程成套技术及装备”项目科技成果鉴定会
据厦门海关统计,今年前四个月,厦门口岸共计进口石材254.96万t,货值4.45亿美元,同比分别增长18.60%和18.04%。进口石材总量再创历史同期新高,增幅居全国各口岸之首。数据显示
为分析横观各向同性岩土材料的应变局部化行为,推导对应于Lade横观各向同性屈服准则向前欧拉算法的迭代格式及本构矩阵,通过有限元软件ABAQUS的UMAT接口实现相应的程序代码。
进一步完善公司治理结构，提高治理水平，是当前股份制商业银行制度创新的重点。本文总结了股份制商业银行在公司治理方面存在的主要问题，结合公司治理理论及商业银行公司治理的特
自1905年中国电影诞生以来,与电影相生相伴、如影随形、不可或缺的因素便是它的接受者:"受众".在一定意义上说,正是广大受众的好恶,决定着任何一部影片的生死存亡.从中国电影
<正> 一段时期以来,我们一直在研究一种液压器。这类液压器能提供我们额外的火药来制造“3寸”的彗星烟花和较大的火箭烟花。 使用——功率较大的机器装置效率很好,并在实践
随着我国网络技术和智能化水平的不断发展,智能水表在市场上的应用十分广泛,出现了很多高新技术产品。然而,传统的水表壳体材料抗拉强度小,使用寿命比较短,无法保证智能水表
目的：研究芩栀胶囊（黄芩、栀子）的抗病毒和抗菌作用。方法：采用体内实验方法，观察芩栀胶囊对病毒或细菌感染小鼠的保护作用；采用体外实验方法，测定芩栀胶囊的抗菌活性。结果：芩栀胶囊