用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hxhx1122

【摘要】

：

用普通扫描电子显微镜(SEM)只能观测样品的表面形貌,不能观测到隐藏在表面绝缘层下面的半导体材料和集成电路的微结构.在普通的SEM中安装了我们研制成功的透表面检测仪后就可

【作者】

：

梁竹关李亚文肖玲王建周开邻李萍徐晓华 Pay Э

【机构】

：

云南大学物理系,昆明物理研究所,俄罗斯

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

扫描电镜半导体材料集成电路微结构分析透视缺陷透表显微内窥法

【基金项目】

：

科技部资助项目，国家自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用普通扫描电子显微镜(SEM)只能观测样品的表面形貌,不能观测到隐藏在表面绝缘层下面的半导体材料和集成电路的微结构.在普通的SEM中安装了我们研制成功的透表面检测仪后就可以突破普通的SEM只能观测样品表面形貌的限制,透过表面绝缘层透视到下面的半导体材料的缺陷和集成电路的微结构.我们在本文中首次公布用改装的SEM观测到该绝缘层下面的半导体材料缺陷的微结构(图1).

其他文献

华西协和大学刘藜仙教授诗文考辑

刘藜仙,华西协和大学教授。其生平事迹不详。据考证,刘藜仙当为四川成都人。在史学上,刘藜仙有其独特的贡献。所藏写本《聊斋志异》,更是一段著名的公案。其诗作,有旷放之风

期刊

华西协和大学刘藜仙史学诗文Huaxi Union University Liu Lixian Historiography Poetry

文化信息资源共享工程在吉林省农村的实践与思考

文章对文化共享工程在吉林省农村的实施现状进行了深入探讨，重点阐述了农村基层服务点的服务模式和服务特色，并就今后深化文化共享工程在吉林省农村的实施提出了几点思考。

期刊

文化信息资源共享工程农村基层文化建设吉林省农村服务实践. Culture Information Resource Sharing Project B

脑血康口服治疗外伤性颅内血种76例

期刊

颅内血肿外伤性中医药疗法脑血康口服液

高校图书馆推动全民阅读的思考

本文从我国国民阅读的现状出发，分析了高校图书馆推动全民阅读的社会责任及优势，阐述了高校图书馆应如何在推动全民阅读构建学习型社会中发挥作用。

期刊

高校图书馆:全民阅读University library Nationwide Reading Reading Activity

Ni3Al（B）—Cr基合金再结晶过程的电镜研究

Ｎｉ３Ａｌ（Ｂ）－Ｃｒ基合金再结晶过程的电镜研究林一坚１，２吴杏芳１柯俊１Ｒ．Ｗ．Ｃａｈｎ（１北京科技大学材料物理系，北京１０００８３）（２上海钢铁研究所应用基础部，上海２００９４０）（英国剑桥大学）Ｎｉ３Ａｌ（Ｂ）－Ｃｒ基合金是含共格γ相的γ′和γ...

期刊

NI3AL金属间化合物再结晶电镜

“捉迷藏”游戏对儿童发展价值的探析

捉迷藏作为一种历史悠久的民间游戏,具有趣味性强、简便易行、经济实惠等典型特点。经过从古至今的传承,现在虽然出现了减少和衰落的趋势,但却一直都是儿童最喜爱的游戏之一

期刊

捉迷藏游戏儿童发展价值hide-and-seek game children development value

惠州西湖风景名胜区维管植物资源与多样性研究

为了明确惠州西湖风景名胜区维管植物资源及多样性特征,该研究通过野外实地调查和文献查阅,统计惠州西湖风景名胜区维管植物种类构成及其科、属、种层面的具体组成,并分析其

期刊

惠州西湖维管植物植物区系珍稀濒危植物药用植物

NetLibrary与超星电子图书的比较

通过具体的操作实践，对netlibrary和超星电子图书进行比较研究，为使用者了解和引进工作提供参考。

期刊

NETLIBRARY超星电子图书比较研究NetLibrary Super - Star E - books comparison study

全国中小型公共图书馆联合2011年会会在贵州遵义召开

5月28日-30日,由中国图书馆学会、全国中小型公共图书馆联合会、贵州省图书馆学会主办,遵义市图书馆承办的2011年全国中小型公共图书馆学术研讨年会在贵州省遵义市图书馆开幕

期刊

中小型公共图书馆贵州省图书馆联合遵义年会中国图书馆学会国家图书馆省图书馆学会

快速定向生长中的Al—Cu—Co—Ge十次对称准晶

快速定向生长中的Ａｌ—Ｃｕ—Ｃｏ—Ｇｅ十次对称准晶陈立凡，李方华（中国科学院物理研究所，北京１０００８０）自从发现准晶以来，已在许多合金系中观察到了十次对称准晶，其特点是具有一个十次对称轴，而且沿此轴方

期刊

晶体生长铝基合金定向生长十次对称准晶

用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路

与本文相关的学术论文