【摘 要】
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东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构,成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS(微机电系统)加速度传感器,实现了1微(μ)G级(G=
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东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构,成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS(微机电系统)加速度传感器,实现了1微(μ)G级(G=9.8m/s^2,重力加速度)的高分辨率检测。MEMS(Micro-Electro Mechanical System)就是将传统传感器的机械部件微型化后,通过三维堆叠技术,例如三维硅穿孔TSV等技术把器件固定在硅晶元上,最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式,最终切割组装而成的硅基传感器。受益于普通传感器无法企及的IC硅片
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