论文部分内容阅读
Twinscan NXT平台在套刻精准和生产效率上有了重要的改进，适合更为先进的光刻工艺，包括双重图形技术。它包含了一个新的平坦的晶圆载物台设计和一个比上几代产品更轻的晶圆载物台，生产效率实现超过30％的提升。另外，新的定位测量系统将套刻精准提高50％。
双重图形光刻设备
【摘 要】
：
Twinscan NXT平台在套刻精准和生产效率上有了重要的改进，适合更为先进的光刻工艺，包括双重图形技术。它包含了一个新的平坦的晶圆载物台设计和一个比上几代产品更轻的晶圆载物
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2009年1期
其他文献
在新一轮课程改革的潮流当中,《普通高中地理课程标准(2017年版)》顺势而生,地理核心素养的培养成为深化课程改革的新指向。但是现阶段,我国中学教育现状为众多教育者所诟病,
大同旗下太阳能企业绿能及尚志日前董事会均通过赴中国大陆投资案，其中绿能有望前往呼和浩特建太阳能长晶厂，预计规划1GWp多晶长晶产能，相当于绿能2008年多品长晶产能270MWp近4
介绍如何使用视频模拟开关AD9300来设计一个4通道的模拟多路器,再配上一个单通道的高速瞬态记录仪,组成一个4通道的高速瞬态记录仪.
介绍了应用高纯锗探测器测量γ谱分析同位素丰度的一种方法.该方法采用了探测器的相对效率的概念,在不对探测器进行刻度的情况下,通过测量样品中某一个核素的多条γ射线,建立
贵州坚持以开放促改革、以改革促发展,全面提升教育对外开放的水平,众多学校走上了国际化发展道路,致力于培养具有国际视野的高水平人才,为贵州经济社会发展提供智力支撑。
为了提高注浆参数监测质量，应用VC技术编制了基于PPI通信协议的注浆参数采集软件，实现了注浆水枪远程监控、注浆参数采集和存储功能；应用ASP．NET AJAX技术和Web服务环境IIS开发实
由于市场竞争的激烈,企业处在一个变幻莫测的经营环境之中.在这样的环境中,企业的战略目标对企业的生存和发展起决定性作用,而企业战略目标的实施者与企业的组织结构有着密切
介绍了用一种多条金属靶传感器测量直线加速器电子束流能谱的方法，主要讨论其原理和电路设计时应考虑的问题。