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本文针对硅微控阀门的特性，提出了一种新的气体压力控制方法，设计了基于微机电硅微控阀门的气体压力控制系统，对系统的传感器调理电路、控制电路进行了设计，解决了小压力和低流量时的压力精密控制问题。该系统压力输出的范围为0～110kPa，不确定度为0．1％FS，气体压力控制稳定性达到了0．01％。可广泛用于模拟和数字压力计和航空气压仪表的校准检定。