【摘 要】
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TOKYOELECTRON LIMITED(简称“TEL集团”)向英飞凌公司提供SiC外延设备Probus-SiC~(TM),用于最先端SiC功率器件的量产。Probus-SiC可以进行6英寸及以下成膜处理,具有自动搬运
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TOKYOELECTRON LIMITED(简称“TEL集团”)向英飞凌公司提供SiC外延设备Probus-SiC~(TM),用于最先端SiC功率器件的量产。Probus-SiC可以进行6英寸及以下成膜处理,具有自动搬运功能和多反应腔体功能,可达到最优装置性能和生产能力。TEL集团新制品企划本部部长石川阳一表示:对于英飞凌选择Probus-SiC
TOKYOELECTRON LIMITED (“TEL Group”) provides Infineon Technologies with SiC epitaxial equipment Probus-SiC ™ for volume production of the most advanced SiC power devices. Probus-SiC can be 6 inches and below the film processing, with automatic handling and multi-chamber function, to achieve the best device performance and production capacity. Ishikawa Ichi, head of TEL Group’s New Products Planning Division, said that for Infineon, Probus-SiC
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