【摘 要】
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针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS（micro electro mechanical system,微机电系统）光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开
【机 构】
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西安应用光学研究所,西安邮电大学理学院
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针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS（micro electro mechanical system,微机电系统）光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关组成,每组光开关均控制一个防空导弹系统子模块的通断。根据拉格朗日-麦克斯韦方程,建立系统的机电动力学模型,确定质量、弹性系数、电容、气膜阻尼等主要参数。仿真结果表明：MEMS光开关的响应时间为0.627ms,稳态位移为4.724μm,最大位移为6.801μm,将相同阶段的
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